電漿系統監控模擬分析研究

  • Liu, Kou-Chen (PI)

Project: Atomic Energy Council › Atomic Energy Council Commission Research

Project Details

Abstract

本計畫至99年底，為期約一年，研究內容包括：1.使用電漿輔助化學沉積系統來分析模擬電漿系統，探討電漿粒子間的相互作用且與實驗製備而得的薄膜進行相互比較。2.開發大面積電漿源，條件需求為高電漿密度與高均勻度以利工業之應用。3.開發與製備最佳化封裝之薄膜，目地主要應用於OLED元件薄膜封裝，且探討電漿對OLED元件之傷害與防止辦法。4.使用可撓式塑膠作為PLED元件之基板，探討其封裝效果與元件特性。

Project IDs

Project ID:PG9904-0429
External Project ID:992001INER037
StatusFinished
Effective start/end date01/01/10 → 31/12/10

Keywords

  • PECVD
  • OLED
  • HMDSO

Access Project