Project Details
Abstract
化學汽相沉積鑽石薄膜(Chemical Vapor Deposition Diamond Film) ，簡稱CVDDF，是利用汽相化學反應製程使鑽石沉積於基材上的一種薄膜型態鑽石。由於鑽石本身具有一些珍貴物理特性，使其被應用於許多有用的應用領域如抗磨耗、散熱、光學元件、半導體元件、表面聲波濾波器(SAW)等。在過去的10 年中，歐美日先進國家主導了CVDDF 的供應以及其量產上的經濟價值。如今本地的台灣廠商也開始投資量產CVDDF。然而在CVDDF 製程中因製程參數不同可以造成CVDDF 品質的差異。CVDDF 品質的差異將影響如機械材料常數以及聲學性質等材料參數，進而影響其設計應用層面。因此，發展適用於CVDDF 之材料參數量測方法及技術成為發展CVDDF 本身產業以及其週邊產業的依重要環節。本研究旨在探討並開發適用於CVDDF 之材料參數，特別是機械材料常數以及聲學性質，之量測方法及技術。在過去的研究中，目前尚無文獻指出由多層板蘭姆波頻散關係中取得化學汽相沉積鑽石膜沉積於矽基材上的材料參數的成功記載。本研究將藉此法發展應用於CVDDF 之非破壞性材料常數量測方法及技術。研究的方法是利用定量化之非破壞性超音波量測技術，包含線聚焦超音波顯微鏡及雷射超音波技術等，結合多層板蘭姆波理論模型，並利用適當的反算法以探討並發展適合沉積於矽基材上的鑽石薄膜機械及聲學性質精確取得的技術。
Project IDs
Project ID:PB9308-1150
External Project ID:NSC93-2212-E182-004
External Project ID:NSC93-2212-E182-004
| Status | Finished |
|---|---|
| Effective start/end date | 01/08/04 → 31/07/05 |
Fingerprint
Explore the research topics touched on by this project. These labels are generated based on the underlying awards/grants. Together they form a unique fingerprint.