High Performance GaN MOSFET on Si-Substrate for Lipoprotein Sensor Applications(I)

近年來由於電子產業進步之賜，醫療儀器相關技術日新月異，生物體用半導體感測晶片等前瞻產品已成為未來醫療儀器之代表產品。未來的醫療世界，是靠人體內奈米級的醫療元件實現。由於人體內血液蛋白質的氧化程度會影響血液內自由基的濃度，而由自由基所誘發之低密度脂蛋白的氧化反應會產生心血管疾病及動脈硬化等疾病，所以能夠針對血液內氧化蛋白質作定量分析之蛋白質感測器開發即相形重要。本計畫主要是利用矽基板上之氮化鎵磊晶片來製作氮化鎵金氧半場效應電晶體，以In2O3，Gd2O3，Pr2O3 等氧化物來偵測血液內氧化的蛋白質濃度，蛋白質氧化的程度越高，在定量的強況下，會填滿場效應電晶體中In2O3，Gd2O3，Pr2O3 等氧化物內的不穩定的鍵結，使得氮化鎵金氧半場效應電晶體閘極電壓所引發的通道電流能有顯著的改變，並藉此電流的改變來反映出血液中氧化蛋白質的濃度，相較於傳統矽晶片，矽基板上之氮化鎵金氧半場效應電晶體能夠同時具有低成本，高環境抵抗力，與低漏電流之功能，能夠避免繁雜的化學檢驗並能快速準確且簡易的感應人體內蛋白質氧化之程度。

Project ID:PB9508-4029
External Project ID:NSC95-2221-E182-058