Low Noise Sensing-Technology Developement of Blood Analysis by ALD Thinfilm with Different Sensing Platform(I)

由於全球即將邁入高齡化社會，使健康即時監控系統(home care)成為二十一世紀深具發展潛力的課題。人類身體健康狀況的變化，都將反映於血液中各種離子、血糖、脂蛋白等濃度的輕微變化。因此，本計畫規劃實現多功、微小化與低雜訊之血液分析平台，可即時監控人體中血液的血糖、脂蛋白與金屬離子濃度。本計劃為整合型計劃之總計畫，第一年預計實現原子層沉積系統之建置與感測薄膜開發，並應用於各感測元件之感測薄膜，應用之感測元件包含氮化鎵場效電晶體、有機電晶體、離子感測場效電晶體與光定址電位感測元件。第二年，利用封裝與多通道電路整合各感測元件，並以差動信號元件設計，將參考電極微小化以及降低雜訊。以下為本計劃之四大目標：(1) 原子層系統建置與感測薄膜製程開發(a) 原子層沉積系統之軟硬體架設(b) 高介電係數感測薄膜開發(c) 高介電係數之金氧半電容開發(2) 感測元件製程與平台開發(a) 原子層沉積與各感測平台相容技術(b) 各感測平台之測試，包含感測度、時漂、遲滯等效應(3) 在血液離子、血糖與脂蛋白之檢測的應用(a) 封裝技術的應用(b) 多通道量測平台(c) 整合各感測元件於同一晶片(Hybrid sensors on chip)(4) 差動信號元件設計與特性分析(REFET, RELAPS, OP)(a) 低感測度之感測薄膜開發(b) 差動放大電路(c) 應用於各感測平台，並建立差動系統以使參考電極微小化並降低雜訊表

Project ID:PB9609-5430
External Project ID:NSC96-2221-E182-055