Abstract
本發明提供了一種多晶金屬薄膜光熱處理系統及其運作方法。其中，該多晶金屬薄膜光熱處理系統包含一基板、一金屬薄膜、一載台、一冷卻系統及一光學系統。其中該金屬薄膜形成於該基板上，而該載台承載該基板。具體來說，該光學系統供應一熱處理光源至該金屬薄膜。於此同時，該冷卻系統之透明蓋板形成一冷卻空間，並由該冷卻空間包覆該金屬薄膜。因此，本發明可於常溫常壓下對該金屬薄膜進行如退火等熱處理作業。
| Translated title of the contribution | POLYCRYSTALLINE THIN FILM ANNEALING SYSTEM AND OPERATING METHOD |
|---|---|
| Original language | Chinese (Traditional) |
| Patent number | I822168 |
| IPC | H01L 21/67(2006.01); H01L 21/324(2006.01) |
| State | Published - 11 11 2023 |
Bibliographical note
公開公告號: I822168Announcement ID: I822168