成長非揮發性記憶體之高品質複晶矽氧化層

趙天生, 楊文祿, 鄭俊明, Tung-Ming Pan, 雷添福

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title = "成長非揮發性記憶體之高品質複晶矽氧化層",

keywords = "絕緣層, 複晶矽氧化層, 非揮發性記憶體",

author = "天生趙 and 文祿楊 and 俊明鄭 and Tung-Ming Pan and 添福雷",

year = "2001",

language = "繁體中文",

volume = "8",

pages = "18--21",

journal = "國科會國家毫微米元件實驗室通訊",

number = "2",

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TY - JOUR

T1 - 成長非揮發性記憶體之高品質複晶矽氧化層

AU - 趙, 天生

AU - 楊, 文祿

AU - 鄭, 俊明

AU - Pan, Tung-Ming

AU - 雷, 添福

PY - 2001

Y1 - 2001

KW - 絕緣層

KW - 複晶矽氧化層

KW - 非揮發性記憶體

M3 - 文章

VL - 8

SP - 18

EP - 21

JO - 國科會國家毫微米元件實驗室通訊

JF - 國科會國家毫微米元件實驗室通訊

IS - 2

ER -