比較三氧化二鐠與鐠鈦氧化物感測膜之結構與感測特性在離子場效電晶體上之應用

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title = "比較三氧化二鐠與鐠鈦氧化物感測膜之結構與感測特性在離子場效電晶體上之應用",

keywords = "三氧化二鐠, 鐠鈦氧化物, 離子場效電晶體",

author = "Tung-Ming Pan and 彥博彭 and 介廷羅 and 志華王 and 國閔廖 and Chao-Sung Lai",

year = "2009",

language = "繁體中文",

volume = "15",

pages = "128--140",

journal = "電子月刊",

issn = "1814-912X",

number = "9",

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TY - JOUR

T1 - 比較三氧化二鐠與鐠鈦氧化物感測膜之結構與感測特性在離子場效電晶體上之應用

AU - Pan, Tung-Ming

AU - 彭, 彥博

AU - 羅, 介廷

AU - 王, 志華

AU - 廖, 國閔

AU - Lai, Chao-Sung

PY - 2009

Y1 - 2009

KW - 三氧化二鐠

KW - 鐠鈦氧化物

KW - 離子場效電晶體

M3 - 文章

SN - 1814-912X

VL - 15

SP - 128

EP - 140

JO - 電子月刊

JF - 電子月刊

IS - 9

ER -