淺談原子層沉積法

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@article{9bcc328546ee4b2e8de1f530f736d4ca,

title = "淺談原子層沉積法",

keywords = "ALCVD, ALD, ALE, Atomic layer epitaxy, Atomic layer growth, 原子層化學氣相沉積法, 原子層成長, 原子層沉積法, 原子層磊晶",

author = "政達李 and 耀仁李 and Tung-Ming Pan",

year = "2008",

language = "繁體中文",

volume = "14",

pages = "158--167",

journal = "電子月刊",

issn = "1814-912X",

number = "3",

}

TY - JOUR

T1 - 淺談原子層沉積法

AU - 李, 政達

AU - 李, 耀仁

AU - Pan, Tung-Ming

PY - 2008

Y1 - 2008

KW - ALCVD

KW - ALD

KW - ALE

KW - Atomic layer epitaxy

KW - Atomic layer growth

KW - 原子層化學氣相沉積法

KW - 原子層成長

KW - 原子層沉積法

KW - 原子層磊晶

M3 - 文章

SN - 1814-912X

VL - 14

SP - 158

EP - 167

JO - 電子月刊

JF - 電子月刊

IS - 3

ER -