資料挖掘技術使用在離子植入機製程之配方分類系統研究

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@article{2619d810701d440a88b28abe9476a346,

title = "資料挖掘技術使用在離子植入機製程之配方分類系統研究",

keywords = "主成分分析, 自然貝氏分類法, 貝氏分類法, 離子植入機",

author = "彥宏林 and 結雄張 and 佶興蔡 and 文猶李 and 嘉鴻蔡 and 木火鄭 and Shin-Yeu Lin",

year = "2002",

language = "繁體中文",

pages = "225--237",

journal = "機械工業",

issn = "0255-0075",

number = "228",

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TY - JOUR

T1 - 資料挖掘技術使用在離子植入機製程之配方分類系統研究

AU - 林, 彥宏

AU - 張, 結雄

AU - 蔡, 佶興

AU - 李, 文猶

AU - 蔡, 嘉鴻

AU - 鄭, 木火

AU - Lin, Shin-Yeu

PY - 2002

Y1 - 2002

KW - 主成分分析

KW - 自然貝氏分類法

KW - 貝氏分類法

KW - 離子植入機

M3 - 文章

SN - 0255-0075

SP - 225

EP - 237

JO - 機械工業

JF - 機械工業

IS - 228

ER -