高科技製程本質較安全設計策略應用研究ㄧ以十二吋垂直式半導體爐管製程加熱系統安全監控為例

Research output: Contribution to conference › Proceeding

Original language	Chinese (Traditional)
State	Published - 2009
Event	中華民國環境工程學會第53屆年會暨2009公安衛/防災研討會 - Yunlin, Taiwan Duration: 06 11 2009 → 07 11 2009

Conference	中華民國環境工程學會第53屆年會暨2009公安衛/防災研討會
Period	06/11/09 → 07/11/09

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title = "高科技製程本質較安全設計策略應用研究ㄧ以十二吋垂直式半導體爐管製程加熱系統安全監控為例",

author = "俊瑜陳 and 國基張 and 靖傑藍 and Gow-Bin Wang and 子奇王",

year = "2009",

language = "繁體中文",

note = "中華民國環境工程學會第53屆年會暨2009公安衛/防災研討會 ; Conference date: 06-11-2009 Through 07-11-2009",

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TY - CONF

T1 - 高科技製程本質較安全設計策略應用研究ㄧ以十二吋垂直式半導體爐管製程加熱系統安全監控為例

AU - 陳, 俊瑜

AU - 張, 國基

AU - 藍, 靖傑

AU - Wang, Gow-Bin

AU - 王, 子奇

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - 會議論文

T2 - 中華民國環境工程學會第53屆年會暨2009公安衛/防災研討會

Y2 - 6 November 2009 through 7 November 2009

ER -