Abstract
本文提供了一個精密的多軸量測系統(MDFM)，可即時量時CMM驅動軸移動時所發生的Pitch、Roll、Yaw等偏擺誤差及三個直線誤差。此系統乃由雷射定位及自準儀改良而來，並且提出一個新穎的定位技術；以CCD取代四象位光電二極體作為感測元件。系統直線誤差的量測解析度可優於1μm，而角度偏擺誤差的量測解析度優於0.5arcses。
| Original language | Chinese (Traditional) |
|---|---|
| Pages (from-to) | 20-30 |
| Journal | 光學工程 |
| Issue number | 50 |
| State | Published - 1995 |