LPCVD爐管中晶圓溫度分佈之動態操控模擬

藍靖傑, Gow-Bin Wang, 黃禎祥, 陳俊瑜, 張國基, 王子奇, 黃毓珊

Research output: Contribution to conference › Proceeding

Original language	Chinese (Traditional)
State	Published - 2009
Event	2009台灣化學工程學會56週年年會暨國科會化工學門成果發表研討會 - Taichung,Taiwan Duration: 27 11 2009 → 28 11 2009

Conference	2009台灣化學工程學會56週年年會暨國科會化工學門成果發表研討會
Period	27/11/09 → 28/11/09

Cite this

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TY - CONF

T1 - LPCVD爐管中晶圓溫度分佈之動態操控模擬

AU - 藍, 靖傑

AU - Wang, Gow-Bin

AU - 黃, 禎祥

AU - 陳, 俊瑜

AU - 張, 國基

AU - 王, 子奇

AU - 黃, 毓珊

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - 會議論文

T2 - 2009台灣化學工程學會56週年年會暨國科會化工學門成果發表研討會

Y2 - 27 November 2009 through 28 November 2009

ER -