研究計畫-專案詳細資料
摘要
本計畫提出利用可撓式塑膠基板上進行多重電漿處理、石墨烯氧化物與奈米結構的開發,以期達到高解析度之二維化學影像感測,以及可在室溫操作且具有低偵測極限之氨氣感測,兩個化學量感測器最後以在塑膠基板上的低溫製程整合成健康感測模組。本計畫共分三年執行,其目標分別為: 第一年:在二維化學影像感測上,以電漿處理提升離子選擇比得到多種離子感測薄膜,如氫、鈉、鉀、氯離子等,搭配類比式微振鏡系統與光脈衝雷射系統,改善光定址電位感測系統之空間解析度至微米等級,以期一舉取得化學影像感測器之國際領導地位。 第二年:導入石墨烯、石墨烯氧化物與 PS 奈米球,對光定址電位感測器之空間解析度進行最佳化,全部採用低溫製程,如:旋轉塗布與噴墨印刷,完成 LAPS,此製程之奈米結構,將運用電阻式氣體感測器,目標為降低操作溫度至 25oC,以及改善最低偵測極限至 100ppb等級。 第三年:導入捲軸式點膠機製作石墨烯、石墨烯氧化物與 PS 奈米球薄膜,再加以多重電漿處理,提升氣體感測之選擇比與降低最低偵測極限,同時進行製程整合設計,將具二維化學影像感測之 LAPS與氣體感測陣列整合於同一塑膠基板,完成健康感測模組。
Project IDs
系統編號:PB10207-1808
原計畫編號:NSC102-2221-E182-067
原計畫編號:NSC102-2221-E182-067
狀態 | 已完成 |
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有效的開始/結束日期 | 01/08/13 → 31/07/14 |
Keywords
- 電子電機工程
- 醫學技術
指紋
探索此研究計畫-專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。