以多重電漿改質、石墨烯氧化物與奈米結構於塑膠基板之健康感測模組(II)

研究計畫: 國家科學及技術委員會(原科技部) 國家科學及技術委員會學術補助

研究計畫-專案詳細資料

摘要

本計畫提出利用可撓式塑膠基板上進行多重電漿處理、石墨烯氧化物與奈米結構的開發,以期達到高解析度之二維化學影像感測,以及可在室溫操作且具有低偵測極限之氨氣感測,兩個化學量感測器最後以在塑膠基板上的低溫製程整合成健康感測模組。本計畫共分三年執行,目前第一年計畫執行良好,並持續提出第二、三年計畫,其目標分別為: 第一年:已經完成類比式微振鏡系統與二維化學影像,目前掃描速度(200 μs/pixel)領先此領域,驗證氧化鈮感測薄膜具有良好氫離子感測特性,目前正以電漿處理提升離子選擇比與改善空間解析度至微米等級,以期一舉取得化學影像感測器之國際領導地位。 第二年:開發高精度噴墨印刷技術,導入石墨烯氧化物與 PS 奈米球導線,全部採用低溫製程,完成玻璃與塑膠基板之 LAPS,以對光定址電位感測器之空間解析度進行最佳化,此奈米結構亦將運用於電阻式氣體感測器,目標為降低操作溫度至 25oC,以及改善最低偵測極限至 100 ppb等級。 第三年:升級噴墨印刷系統,預期完成 10 μm 線寬之石墨烯、石墨烯氧化物與 PS 奈米球薄膜,再加以多重電漿處理,提升氣體感測之選擇比與降低最低偵測極限,同時進行製程整合設計,將具二維化學影像感測之 LAPS 與氣體感測陣列整合於同一塑膠基板,完成健康感測模組。

Project IDs

系統編號:PB10308-3321
原計畫編號:MOST103-2221-E182-066
狀態已完成
有效的開始/結束日期01/08/1431/07/15

Keywords

  • 電子電機工程

指紋

探索此研究計畫-專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。