深紫外線負型光阻之光酸催化交聯反應動力學及玻璃轉移溫度

Chen, Jung-Ting (PI)

化工與材料工程學系(含學碩博士班及碩士在職專班)

研究計畫: 國家科學及技術委員會(原科技部) › 國家科學及技術委員會學術補助

Project IDs

系統編號:PA8905-0320
原計畫編號:NSC89-2216-E182-001

狀態	已完成
有效的開始/結束日期	01/08/99 → 31/07/00

Keywords

化學
深紫外線負型光阻
化學增幅型
交聯反應
動力學
玻璃轉移溫度
反應程度
曝後烤
溶解速
顯影

存取研究計畫-專案

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=523848