奈米ALD金屬閘極與高介電絕緣層製程開發

研究計畫: 國家科學及技術委員會(原科技部) › 國家科學及技術委員會學術補助

研究計畫-專案詳細資料

Project IDs

系統編號:PB9211-0087
原計畫編號:NSC92-2623-7182-006
狀態已完成
有效的開始/結束日期01/10/03 → 31/12/04

Keywords

  • 材料科技
  • 電子電機工程

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