應用於DRAM之奈米ALD金屬閘極與高介電絕緣層製程開發(II)

Lai, Chao-Sung (PI)
Chang, Ruey-Dar (CoPI)
Liu, Kou-Chen (CoPI)

電子工程學系(含學碩博士班)

研究計畫: 國家科學及技術委員會(原科技部) › 國家科學及技術委員會學術補助

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Engineering

Material Science