噴墨印刷奈米複合薄膜應用於微波氣體感測器之技術開發

噴墨列印技術可藉由墨水的調製與製程條件的搭配，提供薄膜多元性的發展，同時利用數位化控制薄膜圖案的塗佈，提供製作簡單且快速、成本低且達到環境友善的優點，具備現今對製程的需求。本計劃主要目的為利用噴墨印刷技術製作開發具有氣體感測特性的奈米複合式薄膜(PEDOT:PSS-CNT)，藉由噴墨印刷技術以期獲得最佳化感測特性，將其應用於差分微波共振器與壓控振盪器上進行即時氣體感測，此技術結合複合式薄膜製作與微波電路的設計，達到即時偵測的目的，提供物聯網技術一個高競爭力的選擇。以下為三年期所做的規劃：1. 噴墨印刷奈米複合薄膜製程開發：奈米複合式墨水調製、噴墨間距、噴墨層數、退火溫度等製程參數藉由氣體感測之電性與物性分析，以達到最佳化的選擇。2. 噴墨印刷差分微波氣體感測共振器設計與製作：製作共面波導與微帶線兩種架構的傳輸線中間載入奈米複合薄膜以建立模型，並根據模型設計與製作具有複合式薄膜的差分微波開口環形共振器進行氣體感測測試，以獲得多量維以及精確的氣體感測特性。3. 噴墨印刷微波氣體感測振盪器設計與實現：以開口環形共振器為共振腔，藉此設計與製作單端壓控振盪器，在感測氣體後共振腔頻率與輸出功率可藉由壓控振盪器即時反應其變化量，以期與物聯網整合。

系統編號:PB10907-2954
原計畫編號:MOST109-2221-E182-027