應用於無線通訊之全噴墨印刷氣體感測器技術開發(I)

全噴墨列印技術推動綠色製程的發展，其優點在於基板選擇性高、速度快、節省材料、價格便宜且退火溫度較一般製程低，因此可應用於攜帶式感測器上。本計劃利用噴墨印刷奈米碳管作為感測層嵌入於偶極天線和巴倫兩處，藉由感測來改變阻抗以平移天線操作頻率，以實現偶極感測天線並達到功能型微小化的目的，以期符合輕薄短小且隨時隨地偵測的無線感測器，以下為二年期所做的規劃：1. 噴墨印刷奈米碳管薄膜製程條件建立與薄膜分析：噴墨間距、噴墨層數、退火溫度等製程參數藉由電性與物性分析，以達到最佳化之製程參數的選擇。2. 量測與計算多層架構-銀/奈米碳管接觸電阻：藉由多層噴墨奈米碳管於接觸位置，並量測與計算銀/奈米碳管重疊面積藉此降低接觸電阻。3. 奈米碳管高頻測試鍵設計、製作與模型建立：製作兩種傳輸線為共面波導傳輸線、微帶線以及兩種電容型式的開路共振腔與指叉式電容測試鍵並量測用以建立高頻模型。4. 全噴墨印刷偶極感測天線設計製作與量測：噴墨印刷感測層於偶極天線與巴倫兩個位置來製作兩種架構的偶極感測天線並進行感測器測試，以實現全噴墨偶極感測天線。

系統編號:PB10708-1767
原計畫編號:MOST107-2221-E182-042