極性與非極性氮化銦低維度結構及磊晶薄膜之載子動力學與二維電子氣研究

近年來，氮化銦因為獨特的光電特性吸引大量研究團隊投入基礎研究，也開啟了許多元件應用的可能性。然而此材料仍有許多未解、爭議及還未深入研究的謎團與議題。因此本計劃目的是以微奈米製程進行各維度量子結構製作與研究分析，進行以氮化銦為基底的新穎複合奈米光電研究；其研究範疇兼具基礎理論與實務製作。在基礎理論方面將探討表面能態對於載子動力學與二維電子氣的影響；另一方面在元件製作上，主要進行高速電子元件之製作，冀望能為氮化銦材料的應用端研究提供新方向。本研究計畫將針對以下主題分三年進行研究：(第一年)、藉由改變化學束磊晶系統(Chemical Beam Epitaxial System, CBE)成長參數以及各式模板技術，進行可控形貌、密度的低維度氮化銦奈米結構成長，再輔以ALD 表面鈍化處理，減少表面態對載子傳輸的影響。(第二年)、使用具有較佳晶格匹配度與非極化場方向生長優勢的基板成長非極性氮化銦，提高非極性氮化銦品質並探討非極性氮化銦的物理特性。(第三年)、利用氮化銦表面高濃度電子以及與氮化鋁銦介面產生的二維電子氣，應用在電晶體元件製作，以提高元件之效率。希望藉由此相關研究，使以氮化銦為基底之奈米光電元件未來能在高頻高速電子元件、表面感測偵測器、光伏元件等領域，成為另一嶄露頭角之新興材料。

系統編號:PA10007-0217
原計畫編號:NSC100-2112-M182-004