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使用交流阻抗法監控化學拋光液品質

  • Lin, Andrew Shiou-Jeng (PI)

研究計畫: 國家科學及技術委員會(原科技部) 國家科學及技術委員會學術補助

研究計畫-專案詳細資料

Project IDs

系統編號:PB9308-5774
原計畫編號:NSC93-2622-E182-004-CC3
狀態已完成
有效的開始/結束日期01/05/0430/04/05

Keywords

  • 化學工程

指紋

探索此研究計畫-專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。