各類情況分散度的探討

在晶圓製造過程中，為了及早發現問題，常有在不同的時期度量相同的品質特性值，如此作法是為了提早發現問題，解決問題以降低損失。只是這些不同時期所度量的品質特性值是否具有替代性是值得探討的問題，依統計的觀點來看，可能是比較不同時期品質特性值的平均、分散度或分佈的問題，平均的問題比較容易解決，分散度的問題可能用F檢定，Bartlett(1962) 或Levene(1960)，但這些作法是否可以真正解決問題值得分析探討，因為數據蒐集時可能會有相關性問題，圓間晶圓內的分散度問題，這些問題是否可以以其他方式如Wang(1989)，Wang(2001) ，Brenneman & Nair(2001) ，Wang & Lin(2001) ，McGrath(2003)等提供的方式加以修飾後解決，都是值得研究的主題，或者有其他方式來探討替代性的問題，也是可以研討的方向。

系統編號:PA9407-0895
原計畫編號:NSC94-2118-M182-002