整合型化合物半導體光定址離子感測器之研製(II)

  • Chang, Liann-Be (PI)

研究計畫: 國家科學及技術委員會(原科技部) 國家科學及技術委員會學術補助

研究計畫-專案詳細資料

摘要

1970年P. Bergveld 揭示了ISFET(Ion-Sensitive Field Effect Transistor)離子感測場效應電晶體的基本構造,在歷經十幾年後L. Bouss與C. D. Fung 等學者又發展出了EIS(Electrolyte-Insulator Semiconductor)電解-絕緣半導體電容結構感測器,直到1988年D. G. Hafeman更近一步發明了LAPS(Light Addressable Potential-metric Sensor)光定址電位感測器,在過去的四十年間,這些學者們一直努力不懈的為半導體生化感測器的進步,提供許多寶貴的學術成果。在LAPS的發展中,首先1988年是使用單一光源,所能獲得的資料較少,近年來,2010年7月日本與德國學者揭示了使用雷射掃描的方式來進行偵測,以雷射陣列掃描的方式來進行偵測則可以獲得更多的資料,也可得到較高的畫素值(pixels),但卻也需要耗費較多的時間進行量測,整體量測系統體積也相對龐大。本計畫預計使用本校自有的MOCVD機台,以化合物半導體為平台,背面做成LED陣列,正面做成ISFET,將其積體化與陣列化,再加上日本東北大學所揭示之調變解調技術進行量測,可同時讀取整個畫面,應是相當創新的一種構想;藉由過去許多LED,HEMT,ISFET以及覆晶技術相關論文的發表,讓我們嘗試利用化合物半導體製成LAPS,並且與LED積體化,來提升半導體感測器在微小化的表現,藉由調制光源來提升量測速度,最終希望能將此構想製成不需要另一背光模組的化合物半導體感測器,為我國在感測器上的發表貢獻一份心力。

Project IDs

系統編號:PB10108-2735
原計畫編號:NSC101-2221-E182-047-MY2
狀態已完成
有效的開始/結束日期01/08/1231/07/13

Keywords

  • 電子電機工程
  • 離子感測場效應電晶體
  • 光定址電位感測器
  • 陣列化
  • 化合物半導體感測器

指紋

探索此研究計畫-專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。