研究計畫-專案詳細資料
Project IDs
系統編號:PB8801-0200
原計畫編號:NSC88-2215-E182-001
原計畫編號:NSC88-2215-E182-001
狀態 | 已完成 |
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有效的開始/結束日期 | 01/08/98 → 31/07/99 |
Keywords
- 電子電機工程
- 超薄閘極氧化物
- 自然氧化層
- 光阻灰化
- 深次微米
- 直接穿透電流
- 軟性崩潰
指紋
探索此研究計畫-專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。