原子層沉積薄膜低雜訊感測元件於血液中金屬、血糖、與脂蛋白之檢測技術開發---子計畫四：原子層沉積感測薄膜低雜訊元件於血液中金屬離子之檢測技術開發(I)

本計畫以原子層化學氣相沉積系統沉積感測薄膜應用於光定址電位感測器(製程步驟簡易、量測便利與整合性高)之製程開發為重點，主要可獲得高精確度、高可靠度、優質薄膜特性與低溫成長之感測薄膜，並分別針對化學影像感測應用、參考光定址電位感測器整合應用與血液多離子感測應用進行研究開發，最後期將所有子計畫之功能(酸鹼濃度、血液離子濃度、血糖、脂蛋白與化學影像顯示)整合於單一晶片上，達到未來多功能人體感測之應用與輔助。另外，計畫中除多方面開發感測平台功能外更將此構造結合本實驗室已具備之快閃記憶體元件觀念與製程能力，構想建立一新型感測元件-快閃感測元件。方向建構大致如下：1. ALD系統平台建立與沉積感測薄膜製程開發。a. ALD設備架設b. 感測薄膜製程開發(已發表之相同薄膜感測特性比較與開發新感測薄膜)c. 比較不同沉積方式或感測平台(離子感測場效電晶體和光定址電位感測器)之感測特性d. 新感測薄膜之研究開發2. LAPS與RE-LAPS差動系統、2-D化學影像感測、血液中多離子感測功能研發與改善。a. 感測薄膜感測度之調變應用在差動元件上b. 差動電路之建立c. 雷射光源掃瞄系統平台架設d. 影像感測電腦繪圖程式建立e. 解析度分析與改善至微米等級f. 離子感測薄膜之開發g. 血液內多離子之量測與疾病比較分析3. 其他子計畫之功能整合與多功能感測晶片下線。a. 結合子計畫中多離子、血糖、脂蛋白與影像之成果對血液進行分析研究b. 晶片整合與下線4. 新型快閃感測元件開發與製作發表。a. 新型快閃感測元件模擬b. 新型快閃感測元件製作與量測。

系統編號:PB9609-5419
原計畫編號:NSC96-2221-E182-048