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以AZO氧化物靶材配合RF反應濺鍍製備之p-type氮鋁共摻雜氧化鋅薄膜導電機構之探討

  • 羅振洋

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題Deposition and Electrical Conductive Mechanism of p-type Aluminum and Nitrogen Co-doped Zinc Oxide TransparentConductive Thin Films by Reactive RF Magnetron Sputtering with AZO Ceramic Target
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Lu, Hsin-Chun, 指導教授
出版狀態已出版 - 2010
對外發佈

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