低壓化學氣相沉積爐管中晶圓溫度分佈之建模及控制

藍靖傑

研究成果: 論文類型 › 碩士論文

貢獻的翻譯標題	Modeling and Control of Wafer Temperature Distribution in a Low-Pressure Chemical Vapor Deposition Furnace
原文	繁體中文
監督員/顧問	Wang, Gow-Bin, 指導教授
出版狀態	已出版 - 2009
對外發佈	是

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