使用原子層沉積系統沉積氧化鎵作為閘極材料來提升氮化鎵高速元件特性之研製

高裔軒

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題Improved Device Performance of AlGaN/GaN HEMTs With Ga2O3 as Dielectric by Atomic Layer Deposition
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Lin, Ray-Ming, 指導教授
出版狀態已出版 - 2015
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