具多層薄膜結構之表面電漿共振檢測系統

一種具多層薄膜結構之表面電漿共振檢測系統，包含一入射光源、一菱鏡、一光偵測器、一基板及一多層薄膜結構，該多層薄膜結構包括一上金屬層、一介電層及一下金屬層，利用該介電層與上、下金屬層二介面表面電漿之耦合效應，改變下層金屬表面與待測介質間的表面電漿特性，大幅提高下層金屬感測面之SPR靈敏度，即時偵測待測介質非常微細之濃度變化或化學反應，並可依不同待測物，藉由調整結構參數，得到對特定待測物之最佳感測靈敏度，應用於多種感測環境，有效解決當前SPR感測靈敏度不足與應用受限之問題。