具有釤鈦氧化物之離子場效電晶體及其離子感測電極

本發明主要提供一種具有釤鈦氧化物之離子感測場效電晶體，包含有一半導體層與分別設置在該半導體層相反兩面上的感測層與導電層，特別的是，該感測層是包含有釤鈦氧化物為材料所構成，可在接觸待測物時因待測物的酸鹼值而產生對應的電位，並經過與感測層電連接的導電層將其向外輸出，藉此精確的測量待測物的酸鹼值變化。本發明還提供具有此種釤鈦氧化物之離子感測場效電晶體的離子感測電極。