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利用鋁摻雜與四氟化碳電漿處理於二氧化鋯薄膜之反鐵電特性探討

  • 林立翔

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題The Study of Anti-Ferroelectricity in Zirconium Dioxide Thin Films with Aluminum Doping and CF4 Plasma Treatment
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Wang, Jer-Chyi, 指導教授
出版狀態已出版 - 2021
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