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利用MOCVD成長AlN於Si基板上之介面特性的研究

  • 曾建元

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題The study of AlN interface properties on Si by MOCVD
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Chen, Nai-Chuan, 指導教授
  • Chang, Pen-Hsiu, 指導教授
出版狀態已出版 - 2004
對外發佈

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