多晶金屬薄膜光熱處理系統及其運作方法

本發明提供了一種多晶金屬薄膜光熱處理系統及其運作方法。其中，該多晶金屬薄膜光熱處理系統包含一基板、一金屬薄膜、一載台、一冷卻系統及一光學系統。其中該金屬薄膜形成於該基板上，而該載台承載該基板。具體來說，該光學系統供應一熱處理光源至該金屬薄膜。於此同時，該冷卻系統之透明蓋板形成一冷卻空間，並由該冷卻空間包覆該金屬薄膜。因此，本發明可於常溫常壓下對該金屬薄膜進行如退火等熱處理作業。