摘要
本研究假設一般粗糙表面，研究探針尖端曲率半徑對測量此表面的影響。從幾何
以及頻譜等方面來看表面粗糙度的問題，分析探針測得出的表面的粗糙度與真實表面粗糙度
的差別。結果發現，探針測量的精確度與 auto-correlation function 有很密切的關係。
surface. It is found that the accuracy of measurement strongly depends on the
auto-correlation function.
| 原文 | 繁體中文 |
|---|---|
| 頁（從 - 到） | 63-80 |
| 期刊 | 華岡工程學報 |
| 發行號 | 12 |
| 出版狀態 | 已出版 - 1998 |
Keywords
- 探針
- 表面粗糙度
- 頻譜
引用此
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