摻雜ⅢＡ族元素之氧化鎂鋅濺鍍靶材之製備方法

本發明係揭露一種摻雜ⅢA族元素之氧化鎂鋅濺鍍靶材之製備方法，首先提供一含有氧化鎂鋅與ⅢA族元素之氧化鎂鋅混合物。接著對其依序進行研磨、乾燥、造粒、過篩、胚化處理，會得到氧化鎂鋅合成生胚。最後將氧化鎂鋅合成生胚放入高溫爐中，並通入惰性氣體以進行高溫燒結，即得到摻雜ⅢA族元素之氧化鎂鋅濺鍍靶材。本發明製備出的濺鍍靶材，具有高緻密度與低電阻係數，可作為磁控濺鍍使用的靶材，且其於銅銦鎵硒(CuInGaSe2，CIGS)太陽能電池上所形成之上電極及窗層材料，亦具有紅外光之高穿透性，以提高整體太陽光穿透率。