比較三氧化二鐠與鐠鈦氧化物感測膜之結構與感測特性在離子場效電晶體上之應用

Tung-Ming Pan, 彭彥博, 羅介廷, 王志華, 廖國閔, Chao-Sung Lai

研究成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行評審

Keywords

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TY - JOUR

T1 - 比較三氧化二鐠與鐠鈦氧化物感測膜之結構與感測特性在離子場效電晶體上之應用

AU - Pan, Tung-Ming

AU - 彭, 彥博

AU - 羅, 介廷

AU - 王, 志華

AU - 廖, 國閔

AU - Lai, Chao-Sung

PY - 2009

Y1 - 2009

KW - 三氧化二鐠

KW - 鐠鈦氧化物

KW - 離子場效電晶體

M3 - 文章

SN - 1814-912X

VL - 15

SP - 128

EP - 140

JO - 電子月刊

JF - 電子月刊

IS - 9

ER -