摘要
本發明提供了一種氣體感測元件及其製造方法,其中該氣體感測元件包含一基板,該基板上設有一微支柱層,再透過於其上鋪設單層石墨烯等偵測層之方式,使該氣體感測器具有良好的偵測及復原能力,特別是用於感測微量氣體時,效果最為顯著。
貢獻的翻譯標題 | GAS SENSING UNIT |
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原文 | 繁體中文 |
IPC | G01N 33/497(2006.01) |
出版狀態 | 已出版 - 01 06 2017 |
文獻附註
公開公告號: 2.01719168E8Announcement ID: 2.01719168E8
Chia-Ming Yang (Inventor), Chao-Sung Lai (Inventor), MINGCHE HSIAO (Inventor), TSUNGCHENG CHEN (Inventor)
研究成果: 專利
貢獻的翻譯標題 | GAS SENSING UNIT |
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原文 | 繁體中文 |
IPC | G01N 33/497(2006.01) |
出版狀態 | 已出版 - 01 06 2017 |