氮化鈦擴散阻擋層對應用於高密度DRAM之鈦酸鍶鋇電容器電性影響之探討

黃慶玲

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題Study of the Effect of TiN Diffusion Barrier on the Electrical Properties of BST Capacitor used for High Density DRAM
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Lu, Hsin-Chun, 指導教授
出版狀態已出版 - 2002
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