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氮化鎵磊晶薄膜的反應性離子蝕刻研究

  • 翁啟文

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題Investigation of Reactive-Ion Etching (RIE) Technique for GaN Epitaxial Materials
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Chen, Nai-Chuan, 指導教授
出版狀態已出版 - 2007
對外發佈

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