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製程條件對以溶凝膠靶配合RF磁控濺鍍製備銦鋅氧化物薄膜性質影響之探討

  • 朱俊隆

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題Effects of sol-gel derived targets preparation conditions on the properties of RF sputtered indium zinc oxide thin films
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Lu, Hsin-Chun, 指導教授
出版狀態已出版 - 2004
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