研究成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行評審
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TY - JOUR
T1 - 超淺接面之擴散製程模型
AU - Chang, Ruey-Dar
PY - 2010
Y1 - 2010
KW - 摻雜
KW - 擴散
KW - 淺接面
KW - 缺陷
M3 - 文章
SN - 1814-912X
VL - 16
SP - 130
EP - 136
JO - 電子月刊
JF - 電子月刊
IS - 9
ER -