摘要
本發明目的在於提供一種金屬單晶化設備及其運作方法。所述的金屬單晶化設備包含一基板、一單晶金屬前驅物、一光束產生器及、一光功率調節器及一線偏振片。先將該單晶金屬前驅物溶液置於該基板上，再透過該光束產生器及該線偏振片施予一線偏振光至該單晶金屬前驅物上。單晶金屬前驅物在線偏振光照射過程中，會彼此方向性附著式自組裝，並再結晶成晶界較少的單晶金屬材料。
| 貢獻的翻譯標題 | APPARATUS FOR MANUFACTURING METALLIC SINGLE CRYSTALLINE AND THE OPERATING METHOD THEREOF |
|---|---|
| 原文 | 繁體中文 |
| 專利號 | I617702 |
| IPC | C23C-026/00(2006.01);H01L-021/268(2006.01) |
| 出版狀態 | 已出版 - 11 03 2018 |
文獻附註
公開公告號: I617702Announcement ID: I617702
指紋
深入研究「金屬單晶化設備及其運作方法」主題。共同形成了獨特的指紋。引用此
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