電漿浸入式離子佈值的前處理應用在矽晶圓上介電層的研究

羅振宇

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題The dielectric research of Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) pretreatment apply on silicon wafer
原文繁體中文
監督員/顧問
  • Lai, Chao-Sung, 指導教授
出版狀態已出版 - 2007
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