Carrier transportation mechanism of the TaN/HfO2/IL/Si structure with silicon surface fluorine implantation

  • Woei Cherng Wu
  • , Chao Sung Lai*
  • , Tzu Ming Wang
  • , Jer Chyi Wang
  • , Chih Wei Hsu
  • , Ming Wen Ma
  • , Wen Cheng Lo
  • , Tien Sheng Chao
    • *此作品的通信作者

研究成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行評審

29 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Carrier transportation mechanism of the TaN/HfO2/IL/Si structure with silicon surface fluorine implantation」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

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