Co-diffusion of carbon and phosphorus in silicon during formation of ultra-shallow junctions

貢獻的翻譯標題: 超淺接面之碳磷共同擴散

黃孟茹

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題超淺接面之碳磷共同擴散
原文美式英語
監督員/顧問
  • Chang, Ruey-Dar, 指導教授
出版狀態已出版 - 2010
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