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Comparison of electrical characteristics of praseodymium oxide gate dielectrics for rf-sputtering and e-beam methods

貢獻的翻譯標題: 射頻濺鍍與電子束蒸鍍兩種方法沉積三氧化二鐠之閘介電層電性比較
  • 蔡豐磯

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題射頻濺鍍與電子束蒸鍍兩種方法沉積三氧化二鐠之閘介電層電性比較
原文美式英語
監督員/顧問
  • Pan, Tung-Ming, 指導教授
出版狀態已出版 - 2006
對外發佈

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