Fermi-level Pinning and NBTI Free of CMOS HfO2 by Pre-CF4 Plasma Passivation

Huai-Hsien Chiu, Chao-Sung Lai, Jer-Chyi Wang

研究成果: 會議稿件的類型會議論文

原文美式英語
出版狀態已出版 - 2010
事件Solid State Devices and Materials (SSDM 2010) - Tokyo, Japan
持續時間: 22 09 201024 09 2010

Conference

ConferenceSolid State Devices and Materials (SSDM 2010)
期間22/09/1024/09/10

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