Graphenated Copper Fabrication Technique for ULSI Interconnects’ Application

貢獻的翻譯標題: 超大積體電路中石墨烯化銅互聯線的製程方法研究

Udit Narula

研究成果: 論文類型博士論文

貢獻的翻譯標題超大積體電路中石墨烯化銅互聯線的製程方法研究
原文美式英語
監督員/顧問
  • Tan, Cher-Ming, 指導教授
出版狀態已出版 - 2018
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