Interface properties and reliability of ultrathin oxynitride films grown on strained Si1-xGex substrates

S. K. Samanta, S. Chatterjee, S. Maikap, L. K. Bera, H. D. Banerjee, C. K. Maiti*

*此作品的通信作者

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11 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Interface properties and reliability of ultrathin oxynitride films grown on strained Si1-xGex substrates」主題。共同形成了獨特的指紋。

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