LPCVD反應爐晶圓二維溫度分佈之動態預測模式

研究成果: 會議稿件的類型 › 會議論文

原文	繁體中文
出版狀態	已出版 - 2010
事件	第八屆台塑關係企業應用技術研討會 - New Taipei City, Taiwan 持續時間: 18 06 2010 → 18 06 2010

Conference	第八屆台塑關係企業應用技術研討會
期間	18/06/10 → 18/06/10

引用此

@conference{f17693da50b54fca9f94348422b400ed,

title = "LPCVD反應爐晶圓二維溫度分佈之動態預測模式",

author = "禎祥黃 and 詠淞莊 and Gow-Bin Wang and 俊瑜陳 and 子奇王",

year = "2010",

language = "繁體中文",

note = "第八屆台塑關係企業應用技術研討會 ; Conference date: 18-06-2010 Through 18-06-2010",

}